参考中国报告网发布《2017-2022年中国臭氧发生器行业市场发展现状及十三五投资商机研究报告》
1840 年德国科学家舒贝因将电解和火花放电试验过程中产生的一种异味气体确定为O3，命名为臭氧，臭氧的特性和功能开始进入科学研究领域，在发现其广谱灭菌效果后，逐渐进入了工业化生产应用阶段。
1902 年，世界第一座采用臭氧处理工艺的大型水厂在德国帕德博恩建立，目前臭氧工艺在欧美日等发达国家已得到广泛应用，净化后的自来水可供直接饮用；1937 年，世界上第一座使用臭氧处理的商业游泳池在美国启用，目前臭氧已成为奥运水中竞赛项目指定的水质消毒方式；上世纪六七十年代美国开始利用臭氧技术处理生活污水，1975 年，全美有超过1,000 套臭氧装置被安装在污水处理厂，近年来发达国家陆续建立了大规模的臭氧深度处理污水处理厂，例如，日本在缺水地区将污水用臭氧深度处理后作为中水使用；1982 年瓶装水开始使用臭氧杀菌，目前矿泉水、纯净水厂家几乎都装备了臭氧设备。
1973 年成立的国际臭氧协会（IOA）成为臭氧研究和应用推广的平台。
到二十世纪末，臭氧的工业应用已非常普遍，广泛应用于饮用水处理、污水处理、纸浆漂白、中间体合成、纺织脱色、香料合成、废旧轮胎处理、疾病治疗、仓储运输等领域。例如：2002 年，WEDECO 提供的3 台175kg/h 臭氧发生器在巴西VCP 纸厂用于纸浆漂白，该设备是目前世界上单机产量最大的臭氧发生器。2006年，BOC 公司开发的LoTOx 技术利用氧/臭氧混合气进行烟气脱硝目前已有应用实例，大西洋中部某石油精炼厂采用该技术进行NOX 脱除，美国俄亥俄州1 台2.5万千瓦燃煤锅炉采用该技术进行工程示范，NOX 去除率可达85%～90%；美国加利福尼亚州，利用LoTOx 技术的熔铅炉可去除80%的NOX。随着臭氧技术的不断进步，臭氧在新的应用领域将不断得到突破。
目前以瑞士 Ozonia 和德国WEDECO 为代表的国际臭氧行业知名企业国际化发展扩张迅速，分别于1995 年和2002 年进入中国市场，加大了对包括中国在内的新兴国家市场的开拓力度。
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