导读:国内外半导体行业超净高纯试剂基本情况简介。超净高纯试剂,又称工艺化学品,是指主体成分纯度大于 99.99%,杂质离子和微粒数符合严格要求的化学试剂,是大规模集成电路和超大规模集成电路制造的关键性配套材料,主要用于芯片的清洗、蚀刻,以及高能电池电解液、电子元器件、高端通用芯片、分立器、平板显示器、太阳能电池、光电玻璃等制造领域。
参考《2016-2022年中国硅外延片市场竞争态势及十三五发展机会分析报告》
半导体材料在IC制造工艺的应用
1、超净高纯试剂
超净高纯试剂,又称工艺化学品,是指主体成分纯度大于 99.99%,杂质离子和微粒数符合严格要求的化学试剂,是大规模集成电路和超大规模集成电路制造的关键性配套材料,主要用于芯片的清洗、蚀刻,以及高能电池电解液、电子元器件、高端通用芯片、分立器、平板显示器、太阳能电池、光电玻璃等制造领域。超净高纯试剂主要特点有品种多、用量大、技术要求高、储存使用有时间期限、具备腐蚀性等,且其纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性均有十分重要的影响。
目前,国际上的大型超净高纯试剂厂商美国、日本和欧洲地区,国内市场也主要被国际巨头垄断,大陆企业的市场占有率仅占10%左右。近年来,我国半导体用超净高纯试剂市场增长迅速,2014的市场需求达到11.97亿元。
国外主要产商
国内主要产商
2、超净高纯试剂的分类
按超净高纯试剂的用途不同,可将其分为光刻胶配套试剂、湿法蚀刻剂和湿法工艺试剂,按其性质不同可分为无机酸类、无机碱类、有机溶剂类和其他超净高纯试剂。
随着集成电路制作要求的提高,对工艺中所需的液体化学品纯度的要求也不断提高,从技术趋势上看,满足纳米级集成电路加工需求是超净高纯试剂今后发展方向之一。
超净高纯试剂种类及使用占比
超净高纯试剂SEMI国际标准等级
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