电子氢氟酸是由无水氢氟酸经通过精馏、超纯水吸收后纯化，并经过0.2μm以下超滤等工序后，可制得的高端氢氟酸产品，技术难度大。其外观为无色透明液体，主要用于去除氧化物。电子氢氟酸在集成电路、半导体制作、太阳能光伏和液晶显示屏等领域应用广泛，是微电子行业生产所需的关键基础化工原材料之一。
根据纯度标准不同，电子氢氟酸又可分为EL、UP、UPS、UPSS以及UPSSS五个级别，其中UPSSS是目前最高级别。
资料来源：公开资料整理
2010-2014年，我国电子级氢氟酸行业产能由6.5万吨增长至14万吨，年均复合增长率为21.14%；2015年开始我国电子级氢氟酸行业产能达到15万吨以上。受下游市场需求不断增长的推动，我国电子级氢氟酸行业产能快速提升，在2020年达到27.2万吨。
由于行业壁垒高，技术工艺难以突破，我国电子级氢氟酸行业起步较晚，国内厂商主要生产EL、UP、UPS级电子氢氟酸，属电子级的中、低档产品，在品质和纯度方面较进口产品尚有差距，高端产品仍依赖进口。近年来，国内氟化氢行业发展也将更多重心转向高纯度氢氟酸上。整体来看我国电子级氢氟酸主要为高端半导体级别，出口产品则偏低端，据统计，截至2021年1-5月我国电子级氢氟酸进口量为0.67万吨，同比增长22.68%，进口金额为0.19亿美元，同比增长24.91%。
我国电子级氢氟酸进口来源地主要为中国台湾、韩国与日本，据统计，2020年我国进口台湾省电子级氢氟酸1373.3万美元，占比35.79%，进口韩国电子级氢氟酸1213万美元，占比31.61%，进口日本电子级氢氟酸389.7万美元，占比10.16%。
从我国各省市电子级氢氟酸进口量来看，陕西、上海、辽宁与湖北是我国电子级氢氟酸主要进口地区，2020年进口量分别为4228.8吨、2705.2吨、2504.4吨与1804.9吨，4个地区进口量合计占比83.4%。
2021年1-5月，我国电子级氢氟酸出口量为1.06万吨，同比增长11.42%。出口金额为0.13亿美元，同比增长1.74%。
2020年我国电子级氢氟酸共出口到11个国家或地区，其中韩国是我国电子级氢氟酸出口主要目的地，2020年出口额为1948.6万美元；排第二的马来西亚，2020年出口额为523万美元；其次是泰国，2020年出口额为271.1万美元。
从我国各省市电子级氢氟酸出口量分布来看，2020年我国共有七个地区出口电子级氢氟酸，分别为浙江、福建、河南、山东、江苏、安徽与上海，出口量分别为13475.6吨、5867.4吨、2525.8吨、1261吨、986.7吨、100吨与0.2吨。
根据纯度标准不同，电子氢氟酸又可分为EL、UP、UPS、UPSS以及UPSSS五个级别，其中UPSSS是目前最高级别。
电子氢氟酸类别
级别 |
EL |
UP |
UPS |
UPSS |
UPSSS |
SEMI标准 |
C1（Grade1） |
C7（Grade2） |
C8（Grade3） |
C12（Grade4） |
Grade5 |
BV标准 |
|
BV- III |
BV- IV |
BV-V |
BV- VI |
金属杂质（ppb） |
≤1ppm |
≤10 |
≤1 |
≤0.1 |
≤0.01 |
控制粒径/μm |
≤1.0 |
≤0.5 |
≤0.5 |
≤0.2 |
需双方协定 |
颗粒个数（个/mL） |
≤25 |
≤25 |
≤5 |
需双方协定 |
需双方协定 |
适应IC线宽*范围/μm |
＞1.2 |
0.8-1.2 |
0.2-0.6 |
0.09-0.2 |
＜0.09 |
使用IC集成度 |
|
1M、4M |
16M、64M、256M |
1G、4G、16G |
64G |
主要应用 |
光伏太阳能电池 |
分立器件 |
平板显示、LED、微米集成器 |
半导体集成电路 |
半导体集成电路12寸晶圆 |
年份 |
|
1986 |
1992 |
2001 |
2010 |
电子氢氟酸制备过程
资料来源：观研天下整理
2010-2014年，我国电子级氢氟酸行业产能由6.5万吨增长至14万吨，年均复合增长率为21.14%；2015年开始我国电子级氢氟酸行业产能达到15万吨以上。受下游市场需求不断增长的推动，我国电子级氢氟酸行业产能快速提升，在2020年达到27.2万吨。
2010-2020年我国电子氢氟酸产能变化
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2018-2021年5月我国电子级氢氟酸进口情况
数据来源：公开资料整理
我国电子级氢氟酸进口来源地主要为中国台湾、韩国与日本，据统计，2020年我国进口台湾省电子级氢氟酸1373.3万美元，占比35.79%，进口韩国电子级氢氟酸1213万美元，占比31.61%，进口日本电子级氢氟酸389.7万美元，占比10.16%。
2020年我国电子级氢氟酸进口来源地进口额分布（单位：%） 
数据来源：公开资料整理
2020年我国各省市电子级氢氟酸进口量分布
数据来源：公开资料整理
2021年1-5月，我国电子级氢氟酸出口量为1.06万吨，同比增长11.42%。出口金额为0.13亿美元，同比增长1.74%。
2018-2021年5月我国电子级氢氟酸出口情况
数据来源：公开资料整理
2020年我国电子级氢氟酸出口目的地出口额分布
数据来源：公开资料整理
从我国各省市电子级氢氟酸出口量分布来看，2020年我国共有七个地区出口电子级氢氟酸，分别为浙江、福建、河南、山东、江苏、安徽与上海，出口量分别为13475.6吨、5867.4吨、2525.8吨、1261吨、986.7吨、100吨与0.2吨。
2020年我国各省市电子级氢氟酸出口量分布
数据来源：公开资料整理（TC）
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