超净高纯试剂在光伏行业中的应用

导读：超净高纯试剂在光伏行业中的应用。光伏发电是指利用半导体界面的光生伏特效应将光能转变为电能的一种技术。

参考《2017-2022年中国高纯生铁市场产销调研及十三五市场竞争态势报告》

       光伏发电是指利用半导体界面的光生伏特效应将光能转变为电能的一种技术。其中光电转换的关键元器件是太阳能电池，将太阳能电池片经串联并加以封装保护后制作成太阳能光伏组件，再配置逆变器、控制器及安装支架等部件形成完整的光伏发电系统。光伏产业链包括硅料生产、硅片切割、硅片加工、太阳能电池片、电池组件、应用系统等环节，示意图如下：

       其中，太阳能电池片制造主要有清洗、表面腐蚀、制绒、扩散、蚀刻、去磷酸玻璃、PECVD、丝网印刷、烧结、测试分档等工序。超净高纯试剂主要应用于太阳能电池片制造中的清洗、腐蚀、制绒等工序。

       A、清洗工艺

       硅棒、硅锭经线切割制成硅片后，进入一次清洗工艺，即使用超净高纯试剂去除硅片表面的有机沾污、氧化膜、颗粒以及金属等沾污。

       B、表面腐蚀

       硅片切割过程中，由于多线切割以机械作用为主，常在硅片表面形成一层10~20μm的损坏层，对下一步制绒有很大影响。该损坏层一般使用氢氧化钠、硝酸、乙酸等腐蚀液在一定温度控制下予以去除。

       C、制绒工艺

       为减少反射，提高光电转化效率，硅片须进行制绒处理，在硅片表面形成细小金字塔结构。该工艺一般采用氢氧化钠、硝酸、氢氟酸及其混合液进行腐蚀。制绒工艺要求绒面连续均匀，反射率低，腐蚀量适中，其关键点在于温度和混合液配比控制。

       D、蚀刻工艺

       硅片在扩散制结过程中其边缘也会形成扩散层。边缘扩散层容易形成短路环，使得并联电阻下降，以至成为废品，因而必须去除。在湿法蚀刻工艺下，一般氢氟酸进行去除，同时加入氟化铵控制腐蚀速度。

       E、去磷硅玻璃清洗工艺

       在扩散过程中，在硅片表面会形成一层不导电的磷硅玻璃。为了形成良好的欧姆接触，减少光的反射，在沉积反射膜之前，须将磷硅玻璃去除。一般用氢氟酸与磷硅玻璃反应，并使之络合剥离，达到清洗目的。

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