超净高纯试剂行业标准规格与功能概况

导读：超净高纯试剂行业标准规格与功能概况。由于世界超净高纯试剂市场的不断扩大，从事超净高纯试剂研究与生产的厂家及机构也在增多，生产规模在不断扩大。但各生产厂家所生产的超净高纯试 剂 的 标 准 各 不 相 同 。

参考《2016-2022年中国蓝宝石专用高纯氧化铝市场竞争态势及十三五投资商机研究报告》

       （1）超净高纯试剂的标准与规格

       由于世界超净高纯试剂市场的不断扩大，从事超净高纯试剂研究与生产的厂家及机构也在增多，生产规模在不断扩大。但各生产厂家所生产的超净高纯试 剂 的 标 准 各 不 相 同 。 为了能够规范世界超净高纯试剂的标准，SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International，国际半导体设备和材料协会）于 1975 年成立了 SEMI 化学试剂标准化委员会，专门制定、规范超净高纯试剂的国际标准。进入 21 世纪，国际 SEMI 标准化组织又根据超净高纯试剂在世界范围内的实际发展情况对原有的分类体系进行了归并，按品种进行分类，每个品种归并为一个指导性的标准，其中包括多个用于不同工艺技术的等级，对应集成电路不同技术水平，所需超净高纯试剂的标准越高，纯度和洁净度的要求也越高。

       具体分类情况如下：

       随着集成电路的发展，设计规范尺寸已进入亚微米、深亚微米时代，对与之配套使用的超净超纯试剂提出了更高的要求。

       （2）超净高纯试剂的功能及应用

       超净高纯试剂在半导体领域主要用于集成电路和分立器件用晶圆加工，在平板显示器领域主要用于玻璃面板、ITO导电玻璃加工，在光伏领域主要用于太阳能电池片加工，另外还有LED用晶圆、光磁记录体加工等用途。超净高纯试剂在上述领域的用途及适用的原理基本一致，即用于清洗工艺、蚀刻工艺等环节。 

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