MEMS压力传感器是一种薄膜元件,受到压力时变形。可以利用应变仪(压阻型感测)来测量这种形变,也可以通过电容感测两个面之间距离的变化来加以测量。这两种方法都很流行,轮胎压力监测系统使用比较结实的压阻方法。
根据数据显示,2014-2017年我国MEMS压力传感器市场规模上升趋势平稳,其中年复合增长率为11.46%。2017年我国MEMS压力传感器市场规模为32.4亿元,同比增长12.5%。
参考观研天下发布《2018年中国进气压力传感器行业分析报告-市场深度分析与投资前景研究》
近年来, MEMS压力传感器由于成本低、可批量生产及体积小等特点应用范围也越来越广泛。目前,压力传感器在具体的应用中主要用于控制和监测,其中汽车行业是MEMS压力传感器最传统也是最大的市场,占比为53.8%,其次是用于消费,占比为27.4%。
领域 |
应用现状 |
汽车领域 |
采用各种类型的压力传感器来对燃油压力、轮胎压力、气囊压力以及进气管道压力进行测量 |
医疗领域 |
可在诊断系统及检测系统,如颅内压力检测系统中应用压力传感器 |
航天航空领域 |
利用压力传感器能够对航天飞行器及宇宙飞船的姿态进行控制,对火箭、卫星、喷气发动机、高度飞行器等耐热腔体表面的压力进行测量 |
工业领域 |
目前,MEMS压力传感器在工业领域 内主要对精度、功耗和可靠度这三个指标要求 |
消费领域 |
MEMS压力传感器在消费电子领域的应用包括运动/坠落检测、导航数据补偿、游戏/人机界面、电源管理、GPS增强/盲区消除、速度/距离计数 |
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