根据 ITRS 路线图的演进，45 纳米的下一代工艺节点是 32 纳米，然后是 22 纳米。不过，因为当工艺进步到 32 纳米时，使用基本相同的光刻设备便可以延伸至 28 纳米，密度更高、晶体管的速度提升了约 50%，但成本基本相同，与 20/22纳米相比，28 纳米具有 1.5-2 倍的成本优势。因此，综合技术和成本等各方面因素，28 纳米都将成为未来很长一段时间内的关键工艺节点。
2011 年第四季度，台积电首先实现了 28 纳米工艺的量产。随后，三星于 2012年、格罗方德于 2013 年第四季度、联电于 2014 年第二季度、中芯国际于 2015年第三季度分别实现 28 纳米工艺的量产。截止 2014 年底，台积电是目前全球28 纳米市场中的最大企业，占全球 28 纳米代工市场份额的 80%。
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