电子工业生产必不可缺原材料电子气体分类情况简介

 导读：电子工业生产必不可缺原材料电子气体分类情况简介。电子气体是超大规模集成电路、平面显示器件，化合物半导体器件，太阳能电池，光纤等电子工业生产不可缺少的原材料，广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。  

参考《2017-2022年中国医疗电子市场现状调查及十三五发展定位研究报告》 

        1、电子气体 

        电子气体是超大规模集成电路、平面显示器件，化合物半导体器件，太阳能电池，光纤等电子工业生产不可缺少的原材料，广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。 

        硅烷是电子气体中用途最广影响最大的气体，在半导体工业中主要用于制作高纯多晶硅、通过气相淀积制作二氧化硅薄膜、氮化硅薄膜、多晶硅隔离层、多晶硅欧姆接触层和异质或同质硅外延生长原料、以及离子注入源和激光介质等。 

        2015 年电子气体国内市场规模达85 亿元，其中应用于半导体电子特气55.3 亿元。目前全球主要的跨国气体公司均在中国设有生产基地，国内高纯气体市场几乎被外资企业垄断。 

        国外主要产商 

        国内主要产商 

        2、电子气体的分类 

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