我国部分溅射靶材企业突破技术壁垒半导体领域应用规模五年翻两番

2020-08-20 02:04

溅射薄膜制备的源头材料，又称溅射靶材，其分类主要是按照形状、化学成分以及应用领域分类。我国制定了一系列靶材行业相关支持政策，推动国内靶材产业发展，增强产业创新能力和国际竞争力。

溅射靶材分类

分类标准	产品类别
形状	长靶、方靶、圆靶
化学成分	金属靶材（纯金属铝、钛、铜、钽等）、合金靶材（镍铬合金、镍钴合金等）、陶瓷化合物靶材（氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等）
应用领域	半导体芯片靶材、平面显示器靶材、太阳能电池靶材、信息存储靶材、工具改性靶材、电子器件靶材、其他靶材

资料来源：公开资料

十三五期间中国关于靶材行业相关政策

政策名称	政策导向
《有色金属工业发展规划（2016－2020年）》	围绕新一代信息技术产业的集成电路、功能元器件等领域需求，利用先进可靠技术，加快发展大尺寸硅单晶抛光片、超大规格高纯金属靶材、高功率微波/激光器件用衬底及封装材料、红外探测及成像材料、真空电子材料等，实现新一代微电子光电子功能材料、智能传感材料研发及产业化取得突破，提升高端有色金属电子材料供给水平。
《稀土行业发展规划（2016-2020年）》	开发超高纯稀土金属及其靶材等深加工产品的制备技术和批量化生产装备，研制超高纯及特殊物性稀土化合物材料及规模制备技术和装备，满足高端电子器件和芯片、功能晶体、集成电路、红外探测、燃料电池、特种合金、陶瓷电容器等应用需求。
《新材料产业发展指南》	加强大尺寸硅材料、大尺寸碳化硅单晶、高纯金属及合金溅射靶材生产技术研发，加快高纯特种电子气体研发及产业化，解决极大规模集成电路材料制约。加快电子化学品、高纯发光材料、高饱和度光刻胶、超薄液晶玻璃基板等批量生产工艺优化，在新型显示等领域实现量产应用。开展稀土掺杂光纤、光纤连接器用高密度陶瓷材料加工技术研发，满足信息通信设备需求。

资料来源：工信部等

       我国溅射靶材市场大多由国际巨头占据，但随着我国靶材行业相关技术得以突破，近年来开始出现少量从事高纯溅射靶材研发和生产的本土企业，并在国内靶材市场占据一定份额，主要包括江丰电子、阿石创、有研新材和隆华节能等公司，由此也改变了我国高纯溅射靶材长期依赖进口的不利局面。

国内溅射靶材企业

公司名称	公司简介
江丰电子	公司是全球高纯金属溅射靶材的领先企业，拥有核心技术、顶级半导体客户、产能、领先的研发团队等竞争优势
阿石创	公司是PVD材料领先企业，主营溅射靶材和蒸镀材料两类
隆华节能	子公司四丰电子的靶材技术国内领先，四丰电子专精高纯钼溅射靶材，产品质量国际领先，直接供货三星、京东方等国内外显示龙头企业
有研新材	旗下的有研亿金是国内规模最大的高纯金属溅射靶材制造企业
金钼股份	自主研发出包括全球最大规模5.5代靶在内的5个系列20种以上靶材产品，打破了国外技术壁垒